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显微镜

 IC芯片漏电及短路的定位工具
•   半导体冷却至-30度的CCD摄像头
•   光谱范围从355纳米至1200纳米,涵盖可见光和部分红外区域
•   InGaAs相机可以进行背面定位
•   利用荧光技术检测短路位置

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