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失效分析仪器

IC芯片漏电及短路的定位工具

半导体冷却至-30度的CCD摄像头
光谱范围从355纳米至1200纳米,
涵盖可见光和部分红外区域
InGaAs相机可以进行背面定位

利用荧光技术检测短路位置

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